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1、
接着分析行星式平面研磨机的运动轨迹及其对加工表面质量、研磨效率、研磨盘磨损均匀性的影响；
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2、
并根据加工过程中的进给步距和不同波长面形误差的特征分析了研抛盘直径的合理取值范围。
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3、
提出了一种新的不定偏心平面研磨方式，主动驱动工件使其在绕自身回转轴自转的同时，绕垂直于研磨盘表面的轴线公转。
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4、
5、
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